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美國MEMS傳感器專利申請量占全球MEMS傳感器專利總申請量的55%；其次是中國、德國、韓國，專利申請量占比分別約為14%、6%、5%。
“審中”狀態，專利總量約8500項，占全球MEMS傳感器專利總量的70%。“有效”狀態和“PCT制定期內”的MEMS傳感器專利數量約為3340項、275項，分別占比28%，2%。?
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